发明名称 止挡及目标之旋转边界
摘要 明提供从目标绕射信号减少或去除边缘绕射之散射量测计量系统、目标及方法。场止挡及/或目标之边界可经设计以相对于量测方向倾斜,从而致使边缘绕射斜向地传播且因此减少或去除其对所量测目标绕射信号之影响。
申请公布号 TW201614750 申请公布日期 2016.04.16
申请号 TW104120364 申请日期 2015.06.24
申请人 克莱谭克公司 发明人 格朗兹威格 塔札希;史维尔 亚历山卓
分类号 H01L21/66(2006.01) 主分类号 H01L21/66(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项 一种散射量测计量系统,其经组态以量测来自具有各别至少一个量测方向之至少一个目标之绕射信号,该散射量测计量系统具有至少一个场止挡,该至少一个场止挡具有相对于该至少一个量测方向倾斜之边缘。
地址 美国