| 发明名称 | 磁性退火装置及磁性退火方法 | ||
| 摘要 | 明系关于磁性退火装置及磁性退火方法，该磁性退火装置，将复数基板W于磁场中退火，包含：横长筒状之处理容器，用于将该复数基板磁性退火处理；基板保持具，于该处理容器内，令该复数基板略成水平而以沿着铅直方向堆叠的方式加以保持；分割加热器，将沿着该处理容器之长边方向的既定区域之外周面的约略全周面以复数片覆盖；以及控制机构，回馈控制该分割加热器中之既定控制对象加热器的温度，并对该既定控制对象加热器以外的该分割加热器，将对于该既定控制对象加热器之控制输出乘以既定比率的値作为控制输出而施行温度控制。 | ||
| 申请公布号 | TW201614756 | 申请公布日期 | 2016.04.16 |
| 申请号 | TW104127602 | 申请日期 | 2015.08.25 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 山崎满;克拉克 贝瑞;范德林狄 贾提;斋藤诚;菅原一贤;阿部寿治;榎本忠 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01);H01L21/324(2006.01);C21D1/26(2006.01) | 主分类号 | H01L21/67(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 周良谋;周良吉 | |
| 主权项 | 一种磁性退火装置，将复数基板于磁场中退火，包含： 横长筒状之处理容器，用于在收纳该复数基板之状态下将该基板施以磁性退火处理； 基板保持具，于该处理容器内，令该复数基板略成水平而以沿着铅直方向堆叠的方式加以保持； 分割加热器，成复数片覆盖住沿着该处理容器之长边方向的既定区域之外周面的约略全周面； 磁石，设置为覆盖于该分割加热器之外侧；以及 控制机构，对于该分割加热器中之既定控制对象加热器的温度施以回馈控制；并对该既定控制对象加热器以外的该分割加热器，将对于该既定控制对象加热器之控制输出乘以既定比率的値作为控制输出，而施行该分割加热器的温度控制。 | ||
| 地址 | 日本 | ||