发明名称 ALD層によって封止したオプトエレクトロニクス半導体チップおよび対応する製造方法
摘要 電磁放射の発生を目的とする活性領域(42)を含む半導体ボディ(40)と、電磁放射を反射することを目的とする第1ミラー層(21)と、電気絶縁材料で形成された第1封止層(31)と、第1封止層(31)、第1ミラー層(21)、および半導体ボディ(40)を機械的に支持することを目的とするキャリア(10)と、を含み、第1ミラー層(12)は、キャリア(10)と半導体ボディ(40)との間に配置され、第1封止層(31)は、キャリア(10)と第1ミラー層(21)との間に配置され、第1封止層(31)は、ALD層である、オプトエレクトロニクス半導体チップを特定する。
申请公布号 JP2016511535(A) 申请公布日期 2016.04.14
申请号 JP20150554105 申请日期 2014.01.14
申请人 オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングOsram Opto Semiconductors GmbH 发明人 アイブル ヨハン;テーガー セバスチャン;ヘッペル ルッツ;エンゲル カール;ランメルスベルガー ステファニ;マウテ マルクス;フーバー ミハエル;ハルトマン ライナー;ハルツング ゲオルク
分类号 H01L33/56;C23C16/40;C23C16/455;H01L33/38;H01L33/44;H01L33/60 主分类号 H01L33/56
代理机构 代理人
主权项
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