Verschlossene, binäre Transmissionsgitter

摘要

Geschlossenes optisches Transmissionsgitter mit einer optisch durchlässigen Substratschicht, welche ein Material mit Brechungsindex nsu aufweist, einer auf der ersten Substratschicht und angrenzend an diese angeordneten optisch durchlässigen Strukturschicht, welche in der Schichtebene eine eindimensionale, periodische, binäre Gitterstruktur mit abwechselnd angeordneten Gitterstegen aus einem Material mit Brechungsindex n1 und Stegzwischenräumen aus einem Material mit Brechungsindex n2 aufweist, wobei n1 ungleich n2 ist, und einer auf der Strukturschicht und angrenzend an diese angeordneten optisch durchlässigen Superstratschicht, welche ein Material mit Brechungsindex nsp aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass für eine definierte Gitterperiode d die Gittertiefe h senkrecht zur Schichtebene und der Füllfaktor f, also das Verhältnis von Stegbreite b in der Schichtebene und Gitterperiode d, so festgelegt sind, dass für unter dem Littrow-Winkel auf das Transmissionsgitter eingestrahltes Licht der definierten Wellenlänge λ sich für das Transmissionsgitter für die Transmission in die –1. Beugungsordnung eine Beugungseffizienz &eegr; gemäß ...