多重火花放电发生器及使用它制造纳米微粒结构体的方法

摘要

本发明涉及一种火花放电发生器。本发明的火花放电系统包括多个柱状电极，以及在对应于所述柱状电极的位置处具有多个出口孔的接地板。所述火花放电发生器的使用使得大面积的三维形状纳米结构体阵列以均匀且快速的方式制造。

主权项

一种火花放电发生器，其特征在于，包括：具有进气口和排气口的放电室；设置在所述放电室内的多个柱状电极；内筒，所述内筒能够调节进气口处的气体流入速率；设置在所述放电室内的接地板，其中所述接地板在与所述柱状电极对应的位置处具有多个出口孔；以及衬底支撑件，所述衬底支撑件与所述柱状电极和所述接地板相对设置。