形状测定装置、形状测定方法及点感测器的定位单元

摘要

一种形状测定装置、形状测定方法及点感测器的定位单元，定位单元包括配设在点感测器(200)周围的两个以上的激光源(231、232)。来自于两个以上的激光源(231、232)的激光(LA、LA)在远离点感测器(200)的与检测点(Ps)相距既定距离的调整点(Pc)处交叉。使调整点(Pc)定位在工件(W)上的所期望的测定开始点(Pm)，使点感测器(200)移动既定距离(Dz)以接近工件(W)并开始进行工件(W)的测定扫描。本发明可容易且迅速地将点感测器的检测点和测定开始点定位。

主权项

一种形状测定装置，其特征在于，具备：点感测器，其靠近被测定物表面以检测被测定物；移动机构，其使被测定物与前述点感测器在三维空间相对移动；及定位单元，其用以将前述点感测器的检测点定位在所期望的测定开始点，其中，前述定位单元包括两个以上的激光源，来自于前述两个以上的激光源的激光在远离前述点感测器的与前述检测点相距既定距离的调整点处交叉。