一种用来处理HMDS的真空烘箱

摘要

本发明提供了一种用来处理HMDS的真空烘箱，包括机箱，固定在机箱外侧的药瓶，固定在机箱上方的电器箱，通过连接管道与电器箱连接的真空泵箱；所述电器箱上设有控制表盘；其特征在于，所述机箱为一面开口，中空的矩形箱体；所述机箱开口的一面通过铰链连接有一密封箱门；所述箱门包括中间层的门板，包裹在门板外面的石棉层以及门外壳。本发明提供的一种用来处理HMDS的真空烘箱，整个操作过程处于真空状态，使HMDS药液与硅片表面的二氧化硅充分作用，提高光刻胶与硅表面的粘附力。箱门与机箱有一定的浮动性，可以吸收多余部分挤压力，避免了氟橡胶密封圈的破裂而引起的漏气现象，降低了设备的故障率，也节约了设备维护的成本。

主权项

一种用来处理HMDS的真空烘箱，包括机箱，固定在机箱外侧的药瓶，固定在机箱上方的电器箱，通过连接管道与电器箱连接的真空泵箱；所述电器箱上设有控制表盘；其特征在于，所述机箱为一面开口，中空的矩形箱体；所述机箱开口的一面通过铰链连接有一密封箱门；所述箱门包括中间层的门板，包裹在门板外面的石棉层以及门外壳；所述箱门与所述机箱有浮动性；所述密封箱门四个角的内侧安装有减振弹簧。