一种微孔喷淋头及制作方法

摘要

本发明公开了一种微孔喷淋头及制作方法，该微孔喷淋头包括喷淋头主体，喷淋头主体由一整块的圆形结构板制成，圆形结构板上设置有下平面、圆环面和上平面；喷淋头主体上开设有第一前体气体喷气通道、第二前体气体喷气通道和第一前体气体分配通道，第一前体气体喷气通道贯穿圆形结构板的上平面及下平面，第二前体气体喷气通道贯穿第一前体气体分配通道及圆形结构板的下平面，第一前体气体分配通道贯穿了圆形结构板的圆环面。该方法用来制作微孔喷淋头。上述本发明具有结构简单紧凑、制作简单、可靠性好等优点。

主权项

一种微孔喷淋头，其特征在于，它包括喷淋头主体（9），所述喷淋头主体（9）由一整块的圆形结构板制成，所述圆形结构板上设置有下平面（206）、圆环面（207）和上平面（208）；所述喷淋头主体（9）上开设有第一前体气体喷气通道（202）、第二前体气体喷气通道（201）和第一前体气体分配通道（203），所述第一前体气体喷气通道（202）贯穿圆形结构板的上平面（208）及下平面（206），所述第二前体气体喷气通道（201）贯穿第一前体气体分配通道（203）及圆形结构板的下平面（206），所述第一前体气体分配通道（203）贯穿了圆形结构板的圆环面（207）。