一种可连续变倍的表面形貌测量装置

摘要

本发明公开了一种可连续变倍的表面形貌测量装置，包括光源、集光镜系统、分光棱镜、干涉物镜、变倍光学系统、成像光学系统、面阵CCD相机、微移动装置和载物台。集光镜系统出射光朝向分光棱镜，分光棱镜的反射光朝向干涉物镜；变倍光学系统同轴设置在分光棱镜与成像光学系统之间；干涉成像光路与照明光路通过分光棱镜衔接于一体。变倍光学系统为连续变倍光学系统，包括补偿组、变倍组和固定组。本装置可针对不同的放大倍率要求，不需要更换物镜，只需调节变倍光学系统的放大倍率M，即可实现变大或缩小测量视场范围，且放大倍数连续可调。适用于相位差干涉法或者垂直扫描白光干涉法实现表面形貌测量。

主权项

一种可连续变倍的表面形貌测量装置，其特征在于：包括光源(1)、接收光源(1)发射光的分光棱镜(3)、干涉物镜(4)、变倍光学系统(6)、成像光学系统(7)、面阵CCD相机(8)、微移动装置(9)、载物台(10)；微移动装置(9)与干涉物镜(4)依次同轴设置在分光棱镜(3)的反射光路方向上；干涉物镜(4)与成像光学系统(7)同轴设置在分光棱镜的两侧，构成干涉成像光路；干涉物镜(4)与成像光学系统(7)同轴设置在分光棱镜(3)的两侧，构成干涉成像光路；变倍光学系统(6)同轴设置在分光棱镜(3)与成像光学系统(7)之间；面阵CCD相机(8)同轴设置在成像光学系统(7)的上方；载物台(10)设置在干涉物镜(4)的下方；其中，变倍光学系统(6)包括补偿组(601)、变倍组(602)和固定组(603)；补偿组(601)、变倍组(602)和固定组(603)按照从物方到像方的顺序依次同轴设置；变倍组(602)做线性移动来改变焦距的大小；补偿组(601)做非线性移动以补偿像面位移，保持像面位置不变。