一种溅射钽环件凸台和环体的焊接方法

摘要

本发明涉及一种溅射钽环件凸台和环件的焊接方法，其特征是：首先将凸台和环件分别酸洗，然后采用激光点焊的方法将所有凸台固定在环件上，用酸液进行表面处理，最后将固定好凸台的环件装夹在三爪卡盘上，通过W轴的旋转依次完成多个凸台的焊接。本发明首先采用点焊的方法将所有凸台固定在环件上，然后再进行电子束焊接，这样只需要抽一次真空即可完成所有凸台的焊接，最大限度的简化了加工工艺，从而大大提高了加工效率，降低了加工成本，同时由于先将凸台全部固定，避免电子束焊接时凸台变形，减少了废品的产生，提高了加工质量。

主权项

一种溅射钽环件凸台和环件的焊接方法，其特征是：首先将凸台和环件分别用体积比为5 ：3：1的HCl、HF和H₂SO₄的混合酸液进行酸洗8～10分钟，然后采用激光点焊的方法将所有凸台固定在环件上，再用体积比为1：3的HF和HNO₃的混合酸液进行表面处理5～8分钟，最后将固定好凸台的环件装夹在三爪卡盘上，通过电子束W轴的旋转依次完成多个凸台的焊接；所述激光点焊利用焊接保护气罩实现，所述焊接保护气罩为与凸台同轴的具有空腔（1）结构的锥台（3），其侧面开有进气孔（4）和出气孔（2），锥台（3）通过定位板（5）固定在环件上，凸台嵌入到空腔（1）内，所述激光点焊是在氩气保护条件下进行。