| 发明名称 | 用于监控工艺的系统及方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于监控工艺的系统，所述工艺由与工艺输入-输出数据有关的多维工艺数据域中的工艺数据集所确定，所述系统包括：用于获取多个历史工艺数据集的装置；用于通过执行多变量数据分析获取从所述多维工艺数据域至较低维度的模型数据域转换的装置；以及用于将当前工艺数据集转换至模型数据集以监控所述工艺的装置。进一步涉及用于监控工艺的方法，所述工艺由代表工艺输入-输出数据的多维工艺数据域中的工艺数据集所确定，所述方法包括：获取多个历史工艺数据集；通过执行多变量数据分析获取从所述多维工艺数据域至较低维度的模型数据域的转换；以及将当前工艺数据集转换至模型数据集以监控所述工艺。 | ||
| 申请公布号 | CN105492982A | 申请公布日期 | 2016.04.13 |
| 申请号 | CN201480043259.2 | 申请日期 | 2014.06.06 |
| 申请人 | 科学设计公司 | 发明人 | S·K·拉希里;M·侯赛因 |
| 分类号 | G05B23/02(2006.01)I;G05B17/02(2006.01)I | 主分类号 | G05B23/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人 | 冯剑明 |
| 主权项 | 用于监控工艺的系统，所述工艺由与工艺输入‑输出数据有关的多维工艺数据域中的工艺数据集所确定，所述系统包括：用于获取多个历史工艺数据集的装置；用于通过执行多变量数据分析获取从所述多维工艺数据域至较低维度的模型数据域的转换的装置；以及用于使用获取的转换将当前工艺数据集转换至模型数据集以监控所述工艺的装置。 | ||
| 地址 | 美国新泽西州 | ||