发明名称 检测装置以及检测方法
摘要 本发明提供了一种检测装置及检测方法。该检测装置包括一光源模块、一图像接收模块以及一处理单元。光源模块发出一第一入射光以及一第二入射光至一待测物;图像接收模块接收第一入射光照射到待测物所产生的一第一图像,以及第二入射光照射到待测物所产生的一第二图像;处理单元计算第一图像以及第二图像的对比值,以得到用于检测的一高对比度图像。
申请公布号 CN103868925B 申请公布日期 2016.04.13
申请号 CN201210581334.3 申请日期 2012.12.27
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 谢易辰;江直融;杨富程
分类号 G01N21/88(2006.01)I 主分类号 G01N21/88(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 曹玲柱
主权项 一种检测装置,其特征在于,包括:一光源模块,发出一第一入射光以及一第二入射光至一待测物;一图像接收模块,接收该第一入射光照射到该待测物所产生的一第一图像以及该第二入射光照射到该待测物所产生的一第二图像;以及一处理单元,用于计算该第一图像以及该第二图像的对比值,以得到用于检测的一高对比度图像,其中,该待测物还包括一第一待测区以及一第二待测区,并且该图像接收模块接收该第一入射光照射到该第一待测区所产生的一第一子图像、该第一入射光照射到该第二待测区所产生的一第二子图像、该第二入射光照射到该第一待测区所产生的一第三子图像、该第二入射光照射到该第二待测区所产生的一第四子图像,并且该处理单元利用一既定公式,计算该第一子图像、第二子图像、第三子图像以及该第四子图像的对比值,以得到用于检测的一高对比度图像,其中该第一子图像、第二子图像、第三子图像、该第四子图像与该高对比度图像都被区分为N个区域,并且该既定公式为︰<maths num="0001" id="cmaths0001"><math><![CDATA[<mrow><mi>P</mi><mi>F</mi><mi>b</mi><mi>g</mi><mrow><mo>(</mo><mi>i</mi><mo>,</mo><mi>j</mi><mo>)</mo></mrow><mo>=</mo><mfrac><mrow><mi>P</mi><mn>12</mn><mi>b</mi><mi>g</mi><mrow><mo>(</mo><mi>i</mi><mo>,</mo><mi>j</mi><mo>)</mo></mrow><mo>&times;</mo><mi>P</mi><mn>14</mn><mi>b</mi><mi>g</mi><mrow><mo>(</mo><mi>i</mi><mo>,</mo><mi>j</mi><mo>)</mo></mrow></mrow><mrow><mo>|</mo><mi>P</mi><mn>11</mn><mi>b</mi><mi>g</mi><mrow><mo>(</mo><mi>i</mi><mo>,</mo><mi>j</mi><mo>)</mo></mrow><mo>-</mo><mi>P</mi><mn>13</mn><mi>b</mi><mi>g</mi><mrow><mo>(</mo><mi>i</mi><mo>,</mo><mi>j</mi><mo>)</mo></mrow><mo>|</mo></mrow></mfrac></mrow>]]></math><img file="FDA0000885035100000011.GIF" wi="925" he="167" /></maths>其中PFbg(i,j)为该第一待测区的区域(i,j)相对于该第二待测区的区域(i,j)所产生的该高对比度图像的灰度值,P11bg(i,j)为在该第一待测区的区域(i,j)所产生的该第一子图像的灰度值,P12bg(i,j)为在该第二待测区的区域(i,j)所产生的该第二子图像的灰度值,P13bg(i,j)为在该第一待测区的区域(i,j)所产生的该第三子图像的灰度值,P14bg(i,j)为在该第二待测区的区域(i,j)所产生的该第四子图像的灰度值。
地址 中国台湾新竹县