超声波探头及其制造方法

摘要

本发明依次层叠衬底材料(1)、无机压电元件层(91a)、声匹配层(94)、有机层(95)以及导电层(96)，从导电层(96)到无机压电元件层(91a)沿层叠方向以任意间距进行切割，从而对齐位置并依次重叠而形成多个无机压电元件(2)、第一声匹配层(3)、下侧有机层(42)以及信号电极层(44)的各断片，在信号电极层(44)上重叠接合上侧有机层(41)和接地电极层(43)，形成由信号电极层(44)、上侧有机层(41)以及接地电极层(43)构成的多个有机压电元件(5)。

主权项

一种超声波探头，其特征在于，具备：衬底材料；多个无机压电元件，排列在所述衬底材料的表面上；第一声匹配层，配置在所述多个无机压电元件上；及第二声匹配层，配置在所述第一声匹配层上，所述第二声匹配层由构成多个有机压电元件的上侧有机层和用于与所述上侧有机层一起进行对所述多个无机压电元件的声匹配的下侧有机层构成，所述多个有机压电元件具有：片状的所述上侧有机层；接地电极层，遍及所述上侧有机层的表面上而延伸；及多个信号电极层，排列在与所述下侧有机层相向的所述上侧有机层的背面上，所述超声波探头还具备以将从所述多个信号电极层到所述多个无机压电元件的各层分离为多个断片的方式朝向层叠方向分别以相同的间距平行地延伸的多个分离部，由此所述多个有机压电元件和所述多个无机压电元件彼此以相同的间距排列。