| 发明名称 | 一种便于清洁的ASM2000PLUS外延机台后法兰装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种便于清洁的ASM2000 PLUS外延机台后法兰装置，包括后法兰、第一冷却水管、第二冷却水管和VCR组件，第一冷却水管的一端连接后法兰，第一冷却水管的另一端连接VCR组件，第二冷却水管的一端连接VCR组件，第二冷却水管的另一端连接冷却水管路。本实用新型在两段冷却水管之间连接了可拆卸的VCR组件，在清洁时只需拆开VCR组件，就能将后法兰与冷却水管之间断开，能够方便、快速地完成ASM2000 PLUS外延机台后法兰的清洁，特别适用于短期维护时间紧的情形。 | ||
| 申请公布号 | CN205159278U | 申请公布日期 | 2016.04.13 |
| 申请号 | CN201520955381.9 | 申请日期 | 2015.11.25 |
| 申请人 | 南京国盛电子有限公司 | 发明人 | 邱孟逊;袁夫通;肖健;金龙 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人 | 陈静 |
| 主权项 | 一种便于清洁的ASM2000PLUS外延机台后法兰装置，其特征在于：包括后法兰(1)、第一冷却水管(2)、第二冷却水管(3)和VCR组件(4)，第一冷却水管(2)的一端连接后法兰(1)，第一冷却水管(2)的另一端连接VCR组件(4)，第二冷却水管(3)的一端连接VCR组件(4)，第二冷却水管(3)的另一端连接冷却水管路。 | ||
| 地址 | 211111 江苏省南京市江宁开发区正方中路166号 | ||