| 摘要 |
본 발명은 아이솔레이션 공정을 레이저 공정에서 선택적 습식식각 공정으로 대체함으로써 공정 효율을 향상시킴과 함께 수광면적을 극대화할 수 있는 후면전극형 태양전지의 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 후면전극형 태양전지의 제조방법은 비아홀이 구비된 p형 실리콘 기판을 준비하는 단계와, 확산 공정을 실시하여 기판 둘레를 따라 에미터층을 형성하는 단계와, 상기 기판 후면의 n 전극이 형성될 영역 이외의 기판을 일정 두께 식각하여 에미터층을 제거하는 단계와, 상기 기판 전면 상에 반사방지막을 형성하는 단계 및 상기 기판 전면에 그리드 전극을 형성하고, 상기 기판 후면에 n 전극 및 p 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. |
