| 发明名称 | 基板用搬运除尘装置的使用方法以及基板用搬运除尘装置 | ||
| 摘要 | 一种基板用搬运除尘装置的使用方法及基板用搬运除尘装置，使在将基板的前端引入除尘单元时不发生弯曲或振动，而且调整文杜里管效应的平衡，增加向下侧的吸引力，即使是薄且具有柔软性的基板也实现稳定地搬运、尘埃等的吸引的增加。一种基板用搬运除尘装置及其使用方法，将下侧除尘单元(210)的吸气室(211、213)的吸引缝隙的长度方向配置成对基板搬运方向(a)大致成直角，而且在基板(G)的一边方向相对基板搬运方向(a)的大致垂直方向以规定的交叉角(α)倾斜的状态，使基板(G)的突端成为前头那样地一边搬运到下侧除尘单元(210)一边接受除尘。 | ||
| 申请公布号 | CN101171092A | 申请公布日期 | 2008.04.30 |
| 申请号 | CN200580049716.X | 申请日期 | 2005.08.05 |
| 申请人 | 修谷鲁电子机器股份有限公司 | 发明人 | 管野盛利;中村康平;饭田秀夫 |
| 分类号 | B08B5/00(2006.01) | 主分类号 | B08B5/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波 |
| 主权项 | 1.一种基板用搬运除尘装置的使用方法，该基板用搬运除尘装置包括：搬运装置，其自基板的下侧供给支承力，向规定的基板搬运方向搬运基板；及除尘单元，其在基板的表背面两侧以两个一组相向配置至少具有各一个的吸气室及喷气室的上侧除尘单元及下侧除尘单元，而且经由喷气室的线状的缝隙向基板表面喷出洗涤空气，经由吸气室的线状的缝隙吸引飞散的尘埃，其特征在于：大致四边形的基板的一边方向相对除尘单元的吸气室的线状的吸引缝隙的长度方向及喷气室的线状的喷出缝隙的长度方向配置成以规定的交叉角倾斜，使本基板的突端成为前头那样地一边搬运到除尘单元一边接受除尘。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||