| 摘要 |
광에 의한 가열 성막법에 의하여, 균일한 막 두께 분포를 갖고, 또 양질의 막을 형성하고, 신뢰성이 높은 발광 장치를 생산성 좋게 제작할 수 있는 기술을 제공하는 것을 과제의 하나로 한다. 광에 의한 가열 성막법에 있어서, 형성하는 재료층(유기 화합물 재료를 포함하는 층)이 형성되는 성막용 기판의 광 흡수부 표면을, 요철(凹凸)을 갖는 조면(粗面)(matted surface)으로 한다. 광에 의하여 가열함으로써 용융한 유기 화합물 재료는, 조면 위에 있기 때문에 응집하지 않고, 피성막용 기판에 균일한 막 두께로 형성할 수 있다. |
