| 摘要 |
開示の実施形態は、流体の流量を制御する質量流量制御器を含む。１つの実施形態では、質量流量制御器は、流体を受け取る流入口と、流体が質量流量制御器を通過する流路と、流路を通る流体の質量流量に対応する信号を提供する質量流量計であって、流体の大部分が流れるバイパスを備える質量流量計と、バイパスの上流に位置し、より均一な流体流量を生成するターニングベーンと、質量流量制御器の流出口から出る流体の流量を調節する可変弁と、バルブ制御信号を印加して可変弁を所望のバルブ位置に調整し、質量流量制御器の流出口から出る流体の流量を制御する制御器とを備える。 |
