闸阀及使用该闸阀之基板处理装置

摘要

明关于一种可微调基板搬出入口周围的壁面与阀体之间的间隙之闸阀及使用该闸阀之基板处理装置。该闸阀的结构系藉由凸轮机构来使阀体进退以开闭基板搬出入口。其中凸轮(cam)机构具备有：长条组件，系可朝阀体进退方向的直交方向自由滑动；板状凸轮，系设置于长条组件与阀体之间，并与长条组件的动作连动来使长条组件的滑动动作变换成阀体的进退动作；阀体驱动组件，系与板状凸轮连动并抵接于阀体，而藉由往该阀体的进退方向滑动来进退驱动阀体；及间隙调整组件，系设置于阀体驱动组件与阀体抵接之前端面，来调整阀体与基板搬出入口之间的间隙。

主权项

一种闸阀，系用以开闭处理室侧壁所设置之基板搬出入口，其特征在于具有：框体，系围绕该基板搬出入口而设置于该处理室侧壁；阀体，系可自由昇降地设置于该框体内以开闭该基板搬出入口；昇降驱动机构，系在对向于该基板搬出入口之位置与从该基板搬出入口退出后之位置之间使该阀体昇降；开闭驱动机构，系由凸轮机构所构成，该凸轮机构系在对向于该基板搬出入口之位置与一边推压一边封闭该基板搬出入口之位置之间使该阀体进退；其中该凸轮机构具有：长条组件，系横跨该阀体长边方向而配置于该阀体背面侧，并可自由滑动地被支撑于该框体；驱动机构，系使该长条组件往该阀体进退方向的直交方向滑动；板状凸轮，系设置于该长条组件与该阀体之间，并与该长条组件的动作连动来使该长条组件的滑动动作变换成该阀体的进退动作；阀体驱动组件，系与该板状凸轮连动并抵接于该阀体，而藉由往该阀体的进退方向滑动来进退驱
动该阀体；及间隙调整组件，系设置于该阀体驱动组件与阀体抵接之前端面，来调整该阀体与该基板搬出入口之间的间隙；该间隙调整组件的结构系由接连设置有头部与螺纹部之螺栓所构成，使该螺栓的螺纹部螺合于该阀体驱动组件的前端面所设置之螺孔，并使该螺栓头部的前端面抵接于该阀体；该阀体驱动组件的结构系于该螺孔侧面处从其基端沿着前端设置有槽缝状的第1缺陷部，并可以螺丝来调整该第1缺陷部的宽度。