| 摘要 |
본 발명의 과제는 표면에 절연막이 형성된 기판 위에 박막을 형성할 때, 박막의 단차 피복성, 성막 처리의 생산성을 향상시키는 것이다. 표면에 절연막이 형성된 기판에 대해 소정 원소 및 할로겐기를 포함하는 제1 원료를 공급함으로써, 절연막의 표면을 트리트먼트하는 공정과, 기판에 대해 소정 원소 및 할로겐기를 포함하는 제2 원료를 공급하는 공정과, 기판에 대해 제3 원료를 공급하는 공정을 포함하는 사이클을 1사이클로 하고 이 사이클을 소정 횟수 행함으로써, 트리트먼트가 행해진 절연막의 표면 위에, 소정 원소를 포함하는 박막을 형성하는 공정을 갖는다. |
