一貫性のあるセンサ表面積を有する化学センサ

摘要

一実施形態において、化学センサが記載される。本化学センサは、上面を有する浮遊ゲート導体を含む化学感応性電界効果トランジスタを含む。材料が、浮遊ゲート導体の上面にまで延伸する開口部を画定する。該材料は、第２の絶縁体の下にある第１の絶縁体を備える。伝導性素子が、浮遊ゲート導体の上面に接触し、かつ開口部の側壁に沿ってある距離を延伸し、該距離は第１の絶縁体の厚さによって画定される。