用于提供故障安全通讯标准予功率管理副半导体厂的装置、系统，及其方法

摘要

明在此提供用于电子装置制造系统的增强控制的方法和装置。在一些具体实施例中，整合的副半导体厂系统可使用Ethernet及/或RS232串列通讯透过装置的开放平台以在电子装置制造期间达到减少的碳足迹。就此实例而言，该系统包含一处理工具集，和由感测器链结的控制器或与操作于一或多种能量消耗的状态之一或多个副半导体厂或本地端工厂辅助系统相连结的软体。此些多个辅助系统可如程序所需求般透过该控制器在不同能量消耗的层级之间切换。对许多辅助元件或系统而言，整合的副半导体厂系统利用既有的讯号输出，对其它者而言其可使用次要感测器器和监视器。

主权项

一种用于提供一故障安全通讯标准予一功率管理副半导体厂(sub-fab)的装置，该装置包含：一副半导体厂，该副半导体厂经组态以：基于从一副半导体厂前端控制器接收的一或多个命令，操作于一低功率状态；在副半导体厂操作期间，列表显示由该副半导体厂消耗的一能量；从该副半导体厂前端控制器接收一心跳讯号；及离开该低功率状态和进入一全功率操作状态，以回应于无法接收一指定的逾时时间区段的该心跳讯号。