带电粒子束装置及检查装置

摘要

即使为使用复数次SADP而所形成的微细线和间隔图案，亦能够高精度地特定原始核心之位置的带电粒子束装置。
在带电粒子束装置中，具有：藉由对具有复数线状图案之试料(807)照射带电粒子束，检测出从试料释放出之二次带电粒子的检测器(810)；根据二次带电粒子之讯号，显示试料之表面之画像资料的显示部(817)；从画像资料算出相对于复数线状图案的LER值的算出部(812)；和比较其值彼此而判定原始核心之位置的判定部(816)。

主权项

一种带电粒子束装置，其特征为具有：带电粒子源；试料台，其系载置具有覆盖被形成在叠层膜上之线状的第一图案，且执行膜堆积而进行两次以上在第一图案之双侧壁形成线状之第二图案的工程而所形成的复数线状图案之试料；照射光学系统，其系将从上述带电粒子源被释放之带电粒子当作带电粒子束照射至被载置在上述试料台之上述试料；检测器，其系藉由上述带电粒子束之照射而检测出从上述试料所释放出之二次带电粒子；显示部，其系将根据藉由上述检测器所检测出之上述二次带电粒子之讯号而所取得之上述试料之表面的画像资料予以显示；算出部，其系根据上述画像资料，算出在上述试料中相邻排列的复数线状图案之线边缘之凹凸的指标即线边缘粗糙度值；及判定部，其系比较上述复数线状图案中之上述线边缘粗糙度值彼此，判定上述第一图案之中心即原始核心之位置。