| 摘要 |
Es ist ein Miniatur-Massenspektrometer offenbart, welches eine Atmosphärendruck-Ionisationsquelle (701), eine erste Vakuumkammer mit einer Atmosphärendruck-Probenahmeöffnung oder -kapillare, eine zweite Vakuumkammer, die sich stromabwärts der ersten Vakuumkammer befindet, und eine dritte Vakuumkammer, die sich stromabwärts der zweiten Vakuumkammer befindet, aufweist. Eine erste Vakuumpumpe (707) ist dafür eingerichtet und ausgelegt, die erste Vakuumkammer zu pumpen, wobei die erste Vakuumpumpe (707) dafür eingerichtet und ausgelegt ist, die erste Vakuumkammer bei einem Druck < 10 mbar zu halten. Eine erste HF-Ionenführung (702) befindet sich innerhalb der ersten Vakuumkammer. Ein Ionendetektor (705) befindet sich in der dritten Vakuumkammer. Die Ionenweglänge von der Atmosphärendruck-Probenahmeöffnung oder -kapillare zu einer Ionendetektionsfläche des Ionendetektors (705) ist ≤ 400 mm. Das Massenspektrometer weist ferner eine Turbomolekular-Vakuumpumpe (706) mit aufgeteilter Strömung auf, welche einen mit der zweiten Vakuumkammer verbundenen Zwischen- oder Zwischenstufenstutzen und einen mit der dritten Vakuumkammer verbundenen Hochvakuum-("HV")-Stutzen aufweist. Die erste Vakuumpumpe (707) ist auch dafür eingerichtet und ausgelegt, als eine unterstützende Vakuumpumpe für die Turbomolekular-Vakuumpumpe (706) mit aufgeteilter Strömung zu wirken. Die erste Vakuumpumpe hat eine maximale Pumpgeschwindigkeit ≤ 10 m3/Stunde (2,78 l/s). |
