金属图案基板的制造方法、触摸传感器、触摸屏、液晶显示装置及有机EL显示装置

摘要

本发明提供一种工序简便且降低了图案可视性的金属图案基板的制造方法、通过所述制造方法所制造的触摸传感器、具有所述触摸传感器的触摸屏、具有所述触摸屏的液晶显示装置及有机EL显示装置。本发明的金属图案基板的制造方法依次包括：工序1，形成感光性树脂组合物层的工序；工序2，对所述感光性树脂组合物层以图案状进行曝光的曝光工序；工序3，显影工序；以及工序4，蚀刻工序，并且所述金属图案基板的制造方法中，在工序3与工序4之间和/或工序4之后，包括使所述感光性树脂组合物层进行热硬化的后烘烤工序作为工序I，工序I后的感光性树脂组合物层的光学浓度为0.10以上。

主权项

一种金属图案基板的制造方法，依次包括：工序1，在具备透明的支撑体及位于所述支撑体上的金属层的基板的所述金属层上，形成感光性树脂组合物层的工序；工序2，对所述感光性树脂组合物层以图案状进行曝光的曝光工序；工序3，对所述感光性树脂组合物层进行显影的显影工序；以及工序4，对具备所述感光性树脂组合物层的基板进行蚀刻的蚀刻工序，并且所述金属图案基板的制造方法的特征在于：在工序3与工序4之间和/或工序4之后，包括后烘烤工序作为工序I，工序I后的感光性树脂组合物层的光学浓度为0.10以上。