| 发明名称 | 高精度恒温控制装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明高精度恒温控制装置及方法，属于恒温控制领域，解决了现有技术在对超高精度光学元件检测和光学系统检测时，干涉腔内温度变化导致的检测误差的技术问题：本发明包括气源模块、换热模块、储气模块和控制模块；气源模块通过管道与换热模块联通，换热模块通过管道与储气模块300联通，控制模块通过管道分与换热模块联通；本发明满足了超高精度光学测量对温度稳定性的要求；本发明中设有空气搅动装置，实现了空气的无规律搅动，很好地抑制了气流扰动对高精度光学测量的影响。 | ||
| 申请公布号 | CN105468062A | 申请公布日期 | 2016.04.06 |
| 申请号 | CN201510980154.6 | 申请日期 | 2015.12.23 |
| 申请人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明人 | 金春水;马冬梅;于杰;张海涛 |
| 分类号 | G05D27/02(2006.01)I | 主分类号 | G05D27/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人 | 王丹阳 |
| 主权项 | 高精度恒温控制装置，其特征在于，包括气源模块(100)、换热模块(200)、储气模块(300)和控制模块(400)；气源模块(100)通过管道与换热模块(200)联通，换热模块(200)通过管道与储气模块(300)联通，控制模块(400)通过管道与换热模块(200)联通。 | ||
| 地址 | 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号 | ||