隔垫物检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种隔垫物检测装置及方法。该方法包括：产生透过带有隔垫物的基板的X射线，接收透过基板的X射线并形成灰度图像；利用灰度图像测量隔垫物的高度。本发明采用X射线成像原理对彩膜基板上的隔垫物进行检测，利用X射线荧光转换装置产生可见光并生成灰度图像，对灰度图像进行识别处理，能准确测量隔垫物的高度，并且可以检测隔垫物的内部及连接状态。

主权项

一种隔垫物检测装置，其特征在于，包括：X射线成像单元和图像处理单元，其中X射线成像单元包括X射线源和X射线敏感镜头；X射线源，用于产生透过带有隔垫物的基板的X射线；X射线敏感镜头，接收透过基板的X射线并形成灰度图像；图像处理单元，利用灰度图像测量隔垫物的高度；其中，所述X射线成像单元为两个，关于基板位置相对，其中任一个的X射线成像单元的X射线敏感镜头接收另一个X射线成像单元的X射线源透过基板的X射线，形成灰度图像。