发明名称 ジアリル基含有ヒドロキシフェニル誘導体、シリコーン骨格含有高分子化合物、ネガ型レジスト材料、光硬化性ドライフィルム、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜
摘要 PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a silicone polymer having excellent resist suitability.SOLUTION: A silicone skeleton-containing polymer compound has repeating units represented by general formula (1) and has a weight average molecular weight of 3,000-500,000, where X is a bisphenol compound residue, Y is a bisphenol glycidyl ether compound residue, and W is a triphenyl dihydroxy compound residue.
申请公布号 JP5900318(B2) 申请公布日期 2016.04.06
申请号 JP20120279348 申请日期 2012.12.21
申请人 信越化学工業株式会社 发明人 竹村 勝也;浦野 宏之;宮崎 隆;淺井 聡;中島 巨諭
分类号 C08G77/52;C07C39/21;C08G59/02;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/075;G03F7/40;H01L21/027 主分类号 C08G77/52
代理机构 代理人
主权项
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