石英坩埚水套

摘要

本实用新型涉及一种石英坩埚水套，包括水套壳体，水套壳体底部中心设有抽气口，其特征在于：水套壳体外部由上至下依次设有上冷却水腔和下冷却水腔，上冷却水腔的顶部延伸至水套壳体上沿水平位置，上冷却水腔的底部延伸至水套壳体支撑环下部水平位置，下冷却水腔的底部延伸至水套壳体底部水平位置，上冷却水腔的底部向腔壁外侧引出上冷却水腔进水管，上冷却水腔的顶部向腔壁外侧引出上冷却水腔回水管，下冷却水腔的底部向腔壁外侧引出下冷却水腔进水管，下冷却水腔的顶部向腔壁外侧引出下冷却水腔回水管。冷却效果好、冷却效率高，保证石英坩埚所处环境真空度、避免水套上口变形严重，延长模具上口的使用寿命，冷却水管检修容易。

主权项

一种石英坩埚水套，包括水套壳体，所述水套壳体内壁上部设有支撑环，所述水套壳体底部中心设有抽气口，其特征在于：所述水套壳体外部由上至下依次设有上冷却水腔和下冷却水腔，所述上冷却水腔的顶部延伸至水套壳体上沿水平位置，所述上冷却水腔的底部延伸至水套壳体支撑环下部水平位置，所述下冷却水腔的底部延伸至水套壳体底部水平位置，所述上冷却水腔的底部向腔壁外侧引出上冷却水腔进水管，所述上冷却水腔的顶部向腔壁外侧引出上冷却水腔回水管，所述下冷却水腔的底部向腔壁外侧引出下冷却水腔进水管，所述下冷却水腔的顶部向腔壁外侧引出下冷却水腔回水管。