采用真空烧结工艺制备金属钨及钒钨合金靶材

摘要

采用真空烧结工艺制备金属钨及钒钨合金靶材,制备工艺流程步骤依次为：选取纯度≥99.95％，粒度≤5μm的金属钨粉或钒钨合金粉为原料，使用造粒设备将其制成1～3mm粒子，填入模具内振实；等静压压制成型，真空烧结完成后，静置冷却获得靶材成品；粉体先制粒后等静压烧结，工艺简单易行，操作方便，易控制；制备所得的靶材溅射性能优良，杂质少，靶材均匀性好，稳定性高。满足热致变色应用，也适用于光学镀膜。

主权项

采用真空烧结工艺制备金属钨及钒钨合金靶材,其特征在于，制备工艺流程步骤依次为：选取纯度≥99.95％，粒度≤5μm的金属钨粉或钒钨合金粉为原料，使用造粒设备将其制成1～3mm粒子，填入模具内振实；等静压压制成型，真空烧结完成后，静置冷却获得靶材成品；具体包含以下步骤：1)选取纯度≥99.95％，粒度≤5μm的金属钨粉或钒钨合金粉为原料，经过进料检验合格后，对于纯金属钨粉体，使用造粒设备将粉体制成1～3mm的粉体粒子；对于钒钨合金粉体，按比例称量好，钒粉和钨粉的比例范围为49:1～9:1，使用混粉造粒设备将其混合均匀并制成1～3mm的粉体粒子；2)将规定尺寸的模具安装在机械装备上，将步骤1)中制成的粉体粒子填入模具内，并使用机械装置上下振实；3)将装好粉体粒子的模具放入等静压设备中压制成型，压力范围为180MPa～240MPa；4)等静压完成后，从模具中取出初成型的靶材，放至真空烧结炉中进行烧制，烧结温度范围为1600℃～2800℃，保温5～10h；5)烧结完成后，从真空烧结炉中取出靶材，静置冷却后对其进行必要的加工即可获得靶材成品。