| 摘要 |
본 발명은, 장시간 진행되는 증착 공정에서, 공정 후반부에 선형증발원의 긴 도가니 속에서 물질의 잔류량이 위치마다 달라져, 물질 플럭스에서도 불균일 분포가 나타나는 현상을 극복하고 지속적으로 균일한 박막 분포를 유지할 수 있는 선형증발원을 제공하고자 한다. 상기 목적에 따라 본 발명은, 물질을 담은 도가니 위에 내측 배플을 두고 그 위에 내측 배플과 이격되게 외측 배플을 설치하되, 내측 배플은, 중심부에서 일정 구간에만 홀이 밀집되고, 그 외의 양단부에는 홀이 없이 막힌 면으로 구성하고, 외측 배플은 균일한 홀 분포를 두어, 내측 배플을 통과한 증발물이 외측 배플을 통과하는 동안 물질 플럭스가 균일해지도록 하였다. 효과를 증대하기 위해 외측 배플은 다수 설치할 수 있다. |
