| 发明名称 |
树脂组成物、膜、空白罩幕、图案形成方法、电子元件的制造方法及电子元件 |
| 摘要 |
明的感光化射线性或感放射线性树脂组成物含有硷可溶性树脂（A）及于分子内具有特定结构的下述例示化合物（B）。 |
| 申请公布号 |
TW201612631 |
申请公布日期 |
2016.04.01 |
| 申请号 |
TW104130886 |
申请日期 |
2015.09.18 |
| 申请人 |
富士软片股份有限公司 |
发明人 |
山口修平 |
| 分类号 |
G03F7/004(2006.01);C08F212/14(2006.01);C08F220/30(2006.01);C08K5/13(2006.01);C08K5/1545(2006.01);C08K5/20(2006.01);C08K5/21(2006.01);C08K5/3462(2006.01);G03F1/20(2012.01);G03F1/22(2012.01);G03F7/038(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
叶璟宗;郑婷文;詹富闵 |
| 主权项 |
一种树脂组成物，其具有感光化射线性或感放射线性，其含有硷可溶性树脂（A）及于分子内具有由下述通式（1）或通式（2）所表示的结构的化合物（B）；通式（1）中， Ar表示芳香环基； R2
及R3
分别独立地表示氢原子、烷基、环烷基、芳基或芳烷基，可相互键结而形成环；另外，R2
及R3
可分别与Ar键结而形成环； R2
及R3
均表示氢原子时，R1
表示氢原子、烷基、环烷基、芳基、芳烷基或醯基； R2
及R3
的至少一者表示氢原子以外的基时，R1
表示烷基、环烷基、芳基、芳烷基或醯基； R4
表示氢原子、烷基、芳基、芳烷基或醯基； X表示氧原子或NR5
，R5
表示氢原子、烷基、芳基、芳烷基或醯基； l表示0至4的整数； 通式（2）中， Y表示氧原子或氮原子； R6
表示氢原子、烷基、环烷基、芳基、芳烷基或醯基； R7
及R8
分别独立地表示氢原子、烷基、芳基或芳烷基，可相互键结而形成环；另外，R7
及R8
可分别与Y键结而形成环； 其中，于所述通式（1）中，键结于Ar的由R1
OC(R2
)(R3
)-所表示的基仅存在一个，于所述通式（2）中，键结于Y的由R6
OC(R7
)(R8
)-所表示的基仅存在一个。 |
| 地址 |
日本 |
