| 发明名称 |
研磨用组成物及研磨用组成物之制造方法 |
| 摘要 |
明提供一种可充分抑制低比介电率材料之研磨速度之研磨用组成物。
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| 申请公布号 |
TW201612288 |
申请公布日期 |
2016.04.01 |
| 申请号 |
TW104125940 |
申请日期 |
2015.08.10 |
| 申请人 |
福吉米股份有限公司 |
发明人 |
安井晃仁 |
| 分类号 |
C09K3/14(2006.01);H01L21/304(2006.01) |
主分类号 |
C09K3/14(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
一种研磨用组成物，其包含研磨粒、与有机化合物，前述有机化合物为具有聚氧伸烷基与含有3个以上碳原子之脂肪族烃基者，且系用于研磨比介电率为4以下之物质。
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| 地址 |
日本 |
