| 发明名称 |
合成石英玻璃基板之制造方法 |
| 摘要 |
决手段]一种合成石英玻璃基板之制造方法，其系包括：准备合成石英玻璃块之步骤；将复折射的测定波长下透射率为99.0%/mm以上的液体涂布在前述合成石英玻璃块的任意面和与其对向的面之这两面之步骤；藉由从一个涂布面入射且从另一个涂布面出射的光线测定合成石英玻璃块的复折射之步骤；依据所获得的复折射率进行合成石英玻璃块好坏的筛选之步骤。
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| 申请公布号 |
TW201612501 |
申请公布日期 |
2016.04.01 |
| 申请号 |
TW104119080 |
申请日期 |
2015.06.12 |
| 申请人 |
信越化学工业股份有限公司 |
发明人 |
原田大実;代田和雄;八木寿;竹内正树 |
| 分类号 |
G01N21/23(2006.01);C03B20/00(2006.01);G03F1/60(2012.01) |
主分类号 |
G01N21/23(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
一种合成石英玻璃基板之制造方法，其系包括：准备合成石英玻璃块之步骤；将复折射的测定波长下透射率为99.0%/mm以上的液体涂布在前述合成石英玻璃块的任意面和与其对向的面之这两面之步骤；藉由从一个涂布面入射且从另一个涂布面出射的光线测定合成石英玻璃块的复折射之步骤；及依据所获得的复折射率进行合成石英玻璃块好坏的筛选之步骤。
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| 地址 |
日本 |
