弹性膜

摘要

弹性膜4，用于使卡环3位于基板W的外周部并保持基板W的基板保持装置1，具备：抵接部42，具有与基板W抵接的抵接面42a；第一周壁部44，连接于抵接部42的外周端并在上方延伸；及第二周壁部46，在第一周壁部44的内侧连接于抵接部42在上方延伸，分别在外侧形成有第一压力室5，在内侧形成有第二压力室7，抵接部42是遍及几乎全区域，以比弹性膜4刚性高的补强部件50来补强。本发明可从抵接部的中心部遍及外周部的几乎全区域，均匀地抑制具有与基板的抵接面的抵接部本身的沿着该抵接面的变形(延伸)。

主权项

一种弹性部件，用于使外环位于基板外周部并保持基板的基板保持装置，其特征在于具备：具有抵接部、第一周壁部及第二周壁部之弹性膜；及第一补强部件，比前述弹性膜刚性高，将前述弹性膜之抵接部遍及几乎全区域加以补强；前述弹性膜之抵接部，具有与基板抵接的抵接面；前述弹性膜之第一周壁部，连接于前述抵接部的外周端并在上方延伸；前述弹性膜之第二周壁部，在前述第一周壁部的内侧连接于前述抵接部在上方延伸，前述弹性膜之第二周壁部，分别在外侧形成有第一压力室，在内侧形成有第二压力室；前述第一补强部件，埋设遍及前述弹性膜之抵接部之几乎全区域。