| 发明名称 |
具有降低声音杂讯之静电麦克风 |
| 摘要 |
微机电系统(MEMS)麦克风，包含一底座；一MEMS晶粒(die)，配置于该底座之上；以及一外盖，耦接至该底座并包围该MEMS晶粒。该MEMS晶粒包含膜片与背板(back plate)且复数柱体自该背板之一第一周边延伸出来。该膜片自由地移动于由该等柱体所建立的一边界之内。一前腔体积(front volume)形成于该膜片的一第一侧之上且一后腔体积(back volume)形成于该膜片与该外盖之间的该膜片的一第二侧之上。复数开孔于该膜片之一周边外缘周围延伸穿过该膜片，该复数开孔有效地减轻杂讯。
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| 申请公布号 |
TW201613372 |
申请公布日期 |
2016.04.01 |
| 申请号 |
TW104124870 |
申请日期 |
2015.07.31 |
| 申请人 |
诺尔斯电子公司 |
发明人 |
帕尔 萨格尼克;拜伦 兰斯;李 晟馥 |
| 分类号 |
H04R1/20(2006.01);H04R19/00(2006.01) |
主分类号 |
H04R1/20(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
阎启泰;林景郁 |
| 主权项 |
一种微机电系统(MEMS)麦克风，该麦克风包含：一底座；一MEMS晶粒，配置于该底座之上；一外盖，耦接至该底座并包围该MEMS晶粒；其中该MEMS晶粒包含一膜片及一背板；其中复数柱体自该背板之一周边延伸；其中该膜片自由地移动于由该复数柱体所建立的一边界之内；其中一前腔体积形成于该膜片的一第一侧之上且一后腔体积形成于该膜片与该外盖之间的该膜片的一第二侧之上；其中复数开孔于该膜片之一周边外缘周围延伸穿过该膜片，该复数开孔有效地减轻杂讯。
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| 地址 |
美国 |
