MOBILE OBJECT DRIVING METHOD, MOBILE OBJECT DRIVING SYSTEM, PATTERN FORMING METHOD AND APPARATUS, EXPOSURE METHOD AND APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD AND CALIBRATION METHOD

摘要

제어 장치에 의해, 인코더 시스템의 X 인코더와 Y 인코더를 적어도 각 1 개 포함하는 3 개의 인코더 (Enc1, Enc2 및 Enc3) 를 이용하여 스테이지 (WST) 의 XY 평면 내의 위치 정보가 계측되고, 그 위치 정보의 계측 결과와 그 위치 정보의 계측에 이용된 헤드 (인코더) (Enc1, Enc2 및 Enc3) 의 XY 평면에 평행한 면 내에서의 위치 정보 (p, q), (p, q) 및 (p, q) 에 기초하여, XY 평면 내에서 스테이지 (WST) 가 구동된다. 이로써, 복수의 헤드를 포함하는 인코더 시스템을 이용하여 스테이지 (WST) 의 이동 중에 제어에 이용하는 헤드 (인코더) 를 전환하면서, 스테이지의 이동을 양호한 정밀도로 제어할 수 있게 된다.