基板搬送部

摘要

基板搬送システムは、開口を有し少なくとも１個の基板を保持する内部環境を形成するハウジングと、開口を外部の雰囲気から密閉するドアとを有するキャリアを備え、密閉されたとき、内部環境は内部雰囲気を内部に維持するよう構成されており、ハウジングは、内部環境の外部に流体を収容するよう構成された流体容器を備え、流体容器内に内部雰囲気とは異なる雰囲気を形成して、内部環境をキャリアの外部の環境から密閉する流体バリアシールを形成する。【選択図】 図４０