臭氧气体供给系统

摘要

本发明的目的在于获得一种臭氧气体供给系统，其搭载有向放电面涂敷用于生成臭氧的光催化剂物质的无氮添加臭氧产生器(1)，并能够向各臭氧处理装置供给可靠性高的臭氧气体。而且，本发明尤其是在原料气体供给部设置用于去除原料气体所含有的水分的机构(59)，使向臭氧气体供给系统供给的原料气体所含的水分量减少，并且具有臭氧气体输出流量管理单元(9)，该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自多个无氮添加臭氧产生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，利用在内部设置的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，以多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合，向多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意臭氧处理装置选择性地输出而能够执行臭氧气体输出流量控制。

主权项

一种臭氧气体供给系统，该臭氧气体供给系统控制气体流量、浓度而将臭氧气体向多个臭氧处理装置分别供给，其中，所述臭氧气体供给系统具备多个无氮添加臭氧产生单元，所述多个无氮添加臭氧产生单元分别具备：无氮添加臭氧产生器，其向放电面涂敷用于生成臭氧的光催化剂物质，并生成臭氧气体；臭氧电源，其对向所述无氮添加臭氧产生器供给的电力进行控制；质量流量控制器(MFC)，其对向所述无氮添加臭氧产生器输入的原料气体流量进行控制；自动压力控制器(APC)，其对所述无氮添加臭氧产生器内的压力即内部压力进行自动控制；臭氧浓度计，其对所述无氮添加臭氧产生器输出的臭氧气体的臭氧浓度值进行检测；臭氧控制部，其作为初期动作而以规定的设定电能使所述臭氧电源驱动，基于在规定时间后由所述臭氧浓度计检测出的臭氧浓度与设定的臭氧浓度的比较，对所述臭氧电源供给的电力进行PID控制，所述臭氧气体供给系统还具备：臭氧气体输出流量管理单元，其接收来自所述多个无氮添加臭氧产生单元内的多个所述无氮添加臭氧产生器的多个臭氧气体输出，通过在内部设置的多个臭氧气体控制阀的开闭动作，能够执行将所述多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合向所述多个臭氧处理装置中任意的臭氧处理装置选择性地输出的臭氧气体输出流量控制；臭氧气体输出流量管理单元控制部，其构成为，基于来自所述多个臭氧处理装置的、包括要求臭氧浓度及要求臭氧流量的处理臭氧气体事件信号，对所述多个无氮添加臭氧产生单元各自的所述臭氧气体的输出内容进行控制，并对所述臭氧气体输出流量管理单元进行所述臭氧气体输出流量控制；至少一个水分去除过滤器，其去除从规定的原料气体供给口供给来的所述原料气体所含的微量水分，并将该原料气体向所述无氮添加臭氧产生单元分别供给。