一种基于微谐振腔的热线式高灵敏度流速计

摘要

本发明公开了一种基于微谐振腔的热线式高灵敏度流速计。光信号从两个输入波导输入，两个输入波导分别连接着两个输出波导，两路光信号的输入波导和输出波导分别置于微谐振腔的两侧，两路光信号的输入波导相互平行，两路光信号的输出波导向内弯曲并与微谐振腔耦合，弯曲的弧度与微谐振腔圆弧弧度不相同使得光信号不从输出波导耦合到微谐振腔。两路光信号的输出波导上均镀有用于作热电极的金属层，被测流体从微谐振腔表面流过进行检测。本发明流速计紧凑简单，设计方便，仅需标准工艺制作；采用微谐振腔设计，可以实现非常尖锐的频谱响应，从而实现高精度、高灵敏度测试。

主权项

一种基于微谐振腔的热线式高灵敏度流速计，其特征在于：包括第一输入波导(1)、第二输入波导(2)、微谐振腔(3)、金属(4)、第二输入波导(5)、第二输出波导(6)和基底(7)，光信号从第一输入波导(1)和第二输入波导(2)分别输入，一路光信号经第一输入波导(1)连接第一输出波导(5)，另一路光信号经第二输入波导(2)连接第二输出波导(6)，两路光信号的输入波导和输出波导分别置于微谐振腔(3)的两侧，两路光信号的输入波导相互平行，两路光信号的输出波导向内弯曲，两路光信号的输出波导上均镀有用于作热电极的金属层(4)，被测流体从微谐振腔表面流过进行检测。