石英坩埚内表面喷涂设备

摘要

本实用新型涉及一种石英坩埚内表面喷涂设备，包括机架，其特征在于：所述机架底部固定有旋转支撑架，所述旋转支撑架上方利用回转支撑安装有环形转盘，所述旋转支撑架侧面设有驱动电机，所述驱动电机的输出轴与回转支撑之间设有齿轮传动机构，所述机架一侧固定有气缸，所述气缸的缸杆顶端固定有支架，所述支架经过旋转支撑架由环形转盘的环腔中穿出，所述支架上设有药管且药管末端安装有喷嘴，所述喷嘴位于支架顶端，所述机架外侧固定有面向机架内侧的红外测温仪和控制箱，所述控制箱的面板上设有数显表，所述控制箱的顶部设有报警器。使用可靠，避免了喷涂过程中产生药点，保证了坩埚质量的稳定性。

主权项

一种石英坩埚内表面喷涂设备，包括机架，其特征在于：所述机架底部固定有旋转支撑架，所述旋转支撑架上方利用回转支撑安装有环形转盘，所述旋转支撑架侧面设有驱动电机，所述驱动电机的输出轴与回转支撑之间设有齿轮传动机构，所述机架一侧固定有气缸，所述气缸的缸杆顶端固定有支架，所述支架经过旋转支撑架由环形转盘的环腔中穿出，所述支架上设有药管且药管末端安装有喷嘴，所述喷嘴位于支架顶端，所述机架外侧固定有面向机架内侧的红外测温仪和控制箱，所述控制箱的面板上设有数显表，所述控制箱的顶部设有报警器。