| 发明名称 | 相位板以及电子显微镜 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种减少电子射线的阻断所导致的像信息的丢失的问题，并且改善了电位分布成为各向异性的问题的、用于电子显微镜的相位板。其具有连为一体的开口部(23)，在开口部配置从开口部的外廓部朝向开口部中心的多个电极(11)。各个电极(11)的剖面，采用隔着绝缘层(25)用由导体或者半导体构成的屏蔽层(26)覆盖由导体或者半导体构成的电压施加层(24)的构造。由此，构成能够减少电极(11)所导致的电子射线阻断，并且能够改善电位分布成为各向异性的问题的相位板。 | ||
| 申请公布号 | CN103620728B | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201280031593.7 | 申请日期 | 2012.05.22 |
| 申请人 | 株式会社日立高新技术 | 发明人 | 玉置央和;高桥由夫;葛西裕人;小林弘幸 |
| 分类号 | H01J37/295(2006.01)I;H01J37/26(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/295(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张莉 |
| 主权项 | 一种用于电子显微镜的相位板，其特征在于，具备：连为一体的一体开口部；和设置在所述一体开口部内的多个电极，其中，多个所述电极中的每个电极从所述一体开口部外周部朝向所述一体开口部中心延伸，多个所述电极具有隔着绝缘体由屏蔽层包覆的电压施加层，所述电压施加层和所述屏蔽层均由导体或半导体构成，所述一体开口部外周部的侧壁由所述屏蔽层包覆，多个所述电极具有：在朝向所述一体开口部中心的各自的内侧壁处露出的所述电压施加层。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||