移位装置以及用于检测和估计与其相关联的运动的方法和设备

摘要

本发明公开了一种估计可移动平台的位置的设备和方法。所述设备包括：定子，所述定子包括相对于彼此布置以提供多个定子Y定向传感器列和多个定子X定向传感器行的2D传感器阵列；可移动平台，所述可移动平台包括第一Y磁体阵列，所述第一Y磁体阵列包括在平台Y方向上大致线性伸长的多个第一磁化段，每个第一磁化段具有平台Y方向长度L_yy和大致正交于所述平台Y方向的磁化方向，所述多个第一磁化段的所述磁化方向表现出所述第一磁体阵列的平台X方向宽度W_yx上的第一磁性空间周期λ_x；以及控制器，所述控制器被连接以基于来自于每个所述传感器的输出接收信息并且被配置成使用所述信息来确定所述可移动平台的定子X方向位置。

主权项

一种用于估计可移动平台的位置的设备，所述设备包括：定子，所述定子包括相对于彼此布置以提供多个定子Y定向传感器列和多个定子X定向传感器行的传感器阵列；每个定子Y定向传感器列包括在定子Y方向上彼此大致对齐的多个传感器和每个定子Y定向传感器列中的在所述定子Y方向上彼此分开节距P_y的至少一对传感器；以及每个定子X定向传感器行包括在定子X方向上彼此大致对齐的多个传感器，所述定子X方向与所述定子Y方向不平行，并且每个定子X定向传感器行中的至少一对传感器在所述定子X方向上彼此分开节距P_x；包括第一Y磁体阵列的可移动平台，所述第一Y磁体阵列包括在平台Y方向上大致线性伸长的多个第一磁化段，每个第一磁化段具有平台Y方向长度L_yy和大致正交于所述平台Y方向的磁化方向，所述多个第一磁化段的所述磁化方向表现出在所述第一Y磁体阵列的平台X方向宽度W_yx上的第一磁性空间周期λ_x；控制器，所述控制器被连接以基于来自每个所述传感器的输出接收信息并且所述控制器被配置成使用所述信息来确定所述可移动平台的定子X方向位置；其中所述节距Px大致符合其中n和N是整数而不是整数。