| 发明名称 | 加热装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种加热装置（11A），其包括具有加热半导体的加热面（12a）的基座（12A）。基座（12A）包括板状主体部（13）和表面耐腐蚀层（14），所述基座（12A）的上表面构成所述加热面。表面耐腐蚀层（14）由以镁、铝、氧以及氮为主成分的陶瓷材料构成，该陶瓷材料以氮氧化铝镁相为主相，且使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ=47～50°。 | ||
| 申请公布号 | CN103180267B | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201180051175.X | 申请日期 | 2011.10.11 |
| 申请人 | 日本碍子株式会社 | 发明人 | 近藤畅之;渡边守道;神藤明日美;胜田祐司;佐藤洋介;矶田佳范 |
| 分类号 | C04B35/581(2006.01)I;C04B35/04(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I | 主分类号 | C04B35/581(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 徐晓静 |
| 主权项 | 一种加热装置，其包括具有加热半导体的加热面的基座，所述加热装置的特征在于，所述基座包括板状主体部与表面耐腐蚀层，所述基座的上表面构成所述加热面，所述表面耐腐蚀层由以镁、铝、氧以及氮为主成分的陶瓷材料构成，该陶瓷材料以氮氧化铝镁相为主相，且使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ＝47～50°，所述陶瓷材料具有0.12％以下的开口孔隙率，用于制造所述陶瓷材料的起始原料的镁源由MgO组成。 | ||
| 地址 | 日本国爱知县名古屋市瑞穗区须田町2番56号 | ||