等离子体刻蚀机的装载系统

摘要

等离子体刻蚀机的装载系统，包括装载腔体和腔盖，装载腔体与腔盖之间设有密封圈，装载腔体一侧设有机械手取送片口，取送片口处设有插板阀，插板阀与机械手腔体连接；装载腔体连接真空机械泵和外界气源；装载腔体内部设有托持片盘的托盘架，托盘架具有多个托持片盘的托持位，每个托持位均设有允许片盘离开的缺口，托盘架固定于底架上，底架与升降旋转装置连接；升降旋转装置包括升降工作部和旋转工作部，升降工作部包括导向杆，升降电机和升降传动机构；旋转工作部包括旋转电机和连接导向杆与旋转电机的旋转传动机构；导向杆与腔体之间间隙密封。本发明具有片盘吐量大，能够实现批量加工的优点。

主权项

等离子体刻蚀机的装载系统，其特征在于：包括装载腔体和腔盖，装载腔体与腔盖之间设有密封圈，装载腔体一侧设有机械手取送片口，取送片口处设有插板阀，插板阀与机械手腔体连接；装载腔体连接真空机械泵和外界气源；装载腔体内部设有托持片盘的托盘架，托盘架具有多个托持片盘的托持位，每个托持位均设有允许片盘离开的缺口，托盘架固定于底架上，底架与升降旋转装置连接；升降旋转装置包括带动托盘架抬起或下落的升降工作部和带动托盘架旋转以转换托持位的旋转工作部，升降工作部包括插入装载腔体内的导向杆、升降电机和连接导向杆与升降电机的升降传动机构；旋转工作部包括旋转电机和连接导向杆与旋转电机的旋转传动机构；导向杆与腔体之间间隙密封；升降传动机构包括与升降电机的输出轴连接的减速机，与导向杆连接的丝杠和连接丝杠与减速机的联轴器，导向杆内开设有与丝杠啮合的螺孔，丝杠旋转时导向杆仅上下运动；旋转传动机构包括固定于导向杆上的蜗轮和与旋转电机的输出轴连接的蜗杆，蜗轮蜗杆啮合传动，旋转电机为步进电机，旋转电机步进一次托盘架旋转一个托持位；导向杆上固定有托持旋转工作部的托架。