基于光纤反射式表面等离子体共振的磁场传感器

摘要

本发明提供了一种基于光纤反射式表面等离子体共振的磁场传感器，属于光纤传感领域。该光纤传感器采用终端反射式传感结构，光纤端面抛光并采用磁控溅射方法在端面溅射一层250nm以上厚度的银膜作为反射镜面；剥去光纤上距离反射端面5-10mm位置的涂覆层和包层，剥去长度为5-20mm,作为传感通道；在传感通道上通过磁控溅射方法溅射一层厚度为50nm的银膜，再利用脉冲激光沉积法沉积一层厚度为110nm的铁酸铋膜；所采用光纤为塑料包层多模光纤，光纤直径为400-600μm、数值孔径大于0.2。本发明中使用反射式光纤传感器，具有体积微小、操作方便、制作简单、更易在复杂环境下测量等优点。

主权项

一种基于光纤反射式表面等离子体共振的磁场传感器，其特征在于，该磁场传感器采用终端反射式传感结构，将光纤两端面抛光，采用磁控溅射方法在一端面溅射一层厚度为250nm以上的银膜作为反射镜面；在距离反射端面5‑10mm剥去光纤上的涂覆层和包层，剥去长度为5‑20mm，作为传感通道；在传感通道上通过磁控溅射方法溅射一层厚度为50nm的银膜，再利用脉冲激光沉积法沉积一层厚度为110nm的铁酸铋膜。