| 发明名称 | 金属有机化合物源的供应系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种金属有机化合物源的供应系统。本实用新型提供的金属有机化合物源的供应系统包括：MO源容器，和多个MOCVD设备；MO源容器，与多个MOCVD设备中的每个MOCVD设备通过传输管道连接。本实用新型的金属有机化合物源的供应系统，可提高化合物的生长效率。 | ||
| 申请公布号 | CN205115595U | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201520610663.5 | 申请日期 | 2015.08.13 |
| 申请人 | 圆融光电科技股份有限公司 | 发明人 | 焦建军;黄小辉;陈向东;康建;梁旭东 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 张莲莲;黄健 |
| 主权项 | 一种金属有机化合物源的供应系统，其特征在于，包括：金属有机化合物MO源容器，和多个金属有机化合物化学气相沉积MOCVD设备；所述MO源容器，与所述多个MOCVD设备中的每个MOCVD设备，通过传输管道连接。 | ||
| 地址 | 243000 安徽省马鞍山市经济技术开发区宝庆路399号1栋 | ||