低温泵及低温泵的运行方法

摘要

本发明提供一种低温泵及低温泵的运行方法，其目的在于缩短低温泵的冷却时间。本发明的低温泵（10）具备高温低温板（19）、低温低温板（18）及冷却系统（15）。冷却系统（15）具备：制冷机（16）及控制部（100），所述制冷机（16）具备用于冷却高温低温板（19）的第1冷却台（20）、及用于冷却低温低温板（18）的第2冷却台（21），所述控制部（100）用于控制为了开始进行低温泵（10）的真空排气运行而对第1冷却台（20）及第2冷却台（21）进行冷却的降温运行。冷却系统（15）构成为在降温运行中至少暂时对第1冷却台（20）选择性地赋予冷却缓和作用。

主权项

一种低温泵，具备高温低温板、低温低温板及冷却系统，该低温泵的特征在于，所述冷却系统具备：制冷机，具备用于冷却所述高温低温板的高温段及用于冷却所述低温低温板的低温段；及控制部，用于控制降温运行，该降温运行为了开始进行所述低温泵的真空排气运行而对所述高温段及所述低温段进行冷却，所述冷却系统构成为在所述降温运行中至少暂时对所述高温段选择性地赋予冷却缓和作用。