用于MEMS麦克风的底座中的变阻器

摘要

一种微机电系统(MEMS)装置包括基板。该基板包括第一表面和第二表面。第一表面和第二表面在基板的相反侧上。编程接触焊盘设置在基板的第二表面上。MEMS设备设置在基板的第一表面上。集成电路设置在基板的第一表面上并且电连接到MEMS设备和接触焊盘。反熔丝区域耦接到焊盘并且耦接到地。当反熔丝区域不被熔化时，从编程接触焊盘到集成电路存在第一电路径。当反熔丝区域被熔化时，从编程接触焊盘到地产生第二电路径并且第一电路径不再能够用于编程目的。

主权项

一种微机电系统(MEMS)装置，所述微机电系统(MEMS)装置包括：基板，所述基板具有第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面在所述基板的相反侧上；编程接触焊盘，所述编程接触焊盘设置在所述基板的所述第二表面上；MEMS设备，所述MEMS设备设置在所述基板的所述第一表面上；集成电路，所述集成电路设置在所述基板的所述第一表面上并且电连接至所述MEMS设备和所述接触焊盘；反熔丝区域，所述反熔丝区域耦接到所述焊盘并且耦接到地；使得当所述反熔丝区域不被熔化时，从所述编程接触焊盘到所述集成电路存在第一电路径；使得当所述反熔丝区域被熔化时，从所述编程接触焊盘到地产生第二电路径，并且所述第一电路径不再能够用于编程目的。