真空炉抽气系统及其抽气工艺

摘要

一种真空炉抽气系统及其抽气工艺，其采用并联抽气的电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵机组，取代现有技术串联抽气的高真空扩散泵+中真空罗茨泵机+粗抽泵机组，其中，本发明的电弧钛泵用于快速抽除高真空的活性气体，牵引分子泵+前级泵用于快速抽除中真空气体以及高真空的惰性气体。由于电弧钛泵和牵引分子泵都是低能耗泵，加上电弧钛泵主要在精抽阶段运行，运行时间通常占整个抽气时间的70%左右，因此本发明可以显著降低抽气能耗；加上电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵机组无油蒸汽污染，因此本发明还消除了传统真空炉抽气系统的油蒸汽污染。

主权项

一种真空炉抽气系统，用于抽真空，其特征在于，包括真空室，所述真空室分别连接有电弧钛泵、牵引分子泵和粗抽泵，所述牵引分子泵与一前级泵连接，所述真空室和牵引分子泵之间设有一第一真空阀，所述牵引分子泵和前级泵之间设有一第二真空阀，所述真空室和粗抽泵之间设有一第三真空阀；所述电弧钛泵包括钛靶以及与所述钛靶连接的阴极弧源基座，所述钛靶设于所述真空室之内，所述阴极弧源基座设于所述真空室之外，所述阴极弧源基座通过一绝缘垫与所述真空室固定连接，所述阴极弧源基座上设有一永久磁铁，所述阴极弧源基座内设有一冷却水槽，所述阴极弧源基座上开设有一与所述冷却水槽连通的进水口和一与所述冷却水槽连通的出水口，所述钛靶和/或阴极弧源基座上开设有至少一与所述真空室连通的气孔。